能源產品及廠家
硅片光刻預處理系統，芯片hmds烘箱用于芯片、晶圓、硅片等半導體在光刻前對wafer進行預處理,在高溫高真空的狀態下均勻噴灑霧狀“oap”藥液并在氮氣保護下烘干以增強wafer的光刻性能。通過對烤箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層hmds，降低了hmds處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
更新時間:2024-12-27
氮氣烤箱，千級潔凈烤箱適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、ic、醫藥、實驗室等生產及科研部門 ；led封裝膠水固化，銀膠固化，支架烘干，前固化，后固化；晶圓光刻前烘（軟烘）、后烘（硬烘）、堅膜烘烤。也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其它高溫試驗。
更新時間:2024-12-27
智能型hmds烤箱定做，不銹鋼hmds烘箱預處理性能更好，更加均勻；效率高,一次可以處理多達4盒的晶片；更加節省藥液；低液報警、防藥液泄漏等具有很強的安全保護功能；，有可自動吸取添加hmds功能，智能型的程式設定，一鍵完成作業。
更新時間:2024-12-27
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